超声扫描显微镜

编号：D9500 (SN201008116)

工艺类别：封装

所属单位：加工平台

管理员：姜春宇

状态：正常

价格：120/30分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

用途

超声扫描是利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析，是目前纳米技术研究中非常重要的无损检测手段。

主要技术指标

Transducers：15MHz/30MHz/50MHz/100MHz/230MHz Area Access Scanner：327mm×314mm Scan resolution：X/Y ± 0.5 μm Scan Mold：A, B, C, T, Q-BAM Image Resolution：2048×2048