SN200812041 高精密单面研磨机 -- 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

SN200812041 高精密单面研磨机

发布时间：2015-01-19

发布时间：2015-01-19 | 文章来源： | 【大中小】 | 【打印】【关闭】

研磨机

编号： AL-380F

工艺类别：镀膜

所属单位：加工平台

管理员：陆建斌

状态：正常

价格： 240/60分钟

单位预约时间： 60(单位:分钟)

用途

对晶片实现研磨处理。|可应用材料：Si,GaAs,Inp,OSi,玻璃等| 表面粗糙度：20-100nm.

主要技术指标

公转:30rpm，自转:90rpm，OSC:30，抛光液滴速：3滴/s。

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