SN201111113 电子束蒸发台
| 电子束蒸发 |
| 编号： COOKE |
| 工艺类别： 镀膜 |
| 所属单位： 加工平台 |
| 管理员： 周丽萍 |
| 状态： 正常 |
| 价格： 225/30分钟 |
| 单位预约时间： 30(单位:分钟) |
| 用途 |
| 主要用于蒸发Ti、Al、Ni、Cr等金属薄膜，蒸发速率0.1A/s-20A/s可调，最大蒸发厚度可至2000nm。一次可蒸镀两寸片38片，四寸片和六寸片5片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5% 单次工艺2小时起约，请提前10分钟到场准备样品 |
| 主要技术指标 |
| "蒸发速率0.1A/s-20A/s，预蒸发功率10%-45%，蒸发功率0-60%，蒸发厚度：普通金属（Ni、Al、Ti）5nm-2000nm；工作真空：5E-6Torr，温度：常温（暂时） |
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