品名

蒸发台（旧）

型号

BS-ITO-600

制造商

Branchy

主要功能

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运,在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的柑涡中，可避免蒸发材料与柑祸壁发生反应影响薄膜的质量。因此电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的坩埚以获得所要达到的蒸发率。

技术指标

主要目前用于蒸发Ti、Al、Ni、Au、Cr、Ag、Cu等金属薄膜，蒸发速率0.1A/s-2A/s可调，最大蒸发厚度可至200nm（其他材料正在积极推动）。一次可蒸镀六寸片6片，向下尺寸兼容，薄膜均匀性≤±5%；工作真空：8E-6Torr，温度：20-300℃

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

机时费：500元/30min，材料费：Au 15元/nm，其他金属1元/nm。

其他费用：无Au，300元，有Au，500元。

管理员

程伟

联系方式

62872658

设备照片