品名

尾气处理设备

型号

NH3+SIH4

制造商

安科瑞泰科技北京有限公司

主要功能

主要用于ICPECVD设备尾气净化用

技术指标

加热（700-900摄氏度）；三通接口；冷却水系统（水洗）；O2,Ar,He，CF4供气系统；排风供气系统

设备现状

完好

收费标准

面议

管理员

苏文明

联系方式

62872730

设备照片