Relationship between the growth rate and Al incorporation of AlGaN by metalorganic chemical vapor deposition
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| 作者： | Deng Y; Zhao DG; Le LC; Jiang DS; Wu LL; Zhu JJ (朱建军); Wang H (王辉); Liu ZS; Zhang SM (张书明); Yang H (杨辉); Liang JW |
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| 刊物名称： | Journal of Alloys and Compounds |
| 年： | 2011-01-21 |
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