Low-Temperature ZnO TFTs Fabricated by Reactive Sputtering of Metallic Zinc Target

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作者: Shaojuan Li(李绍娟); Yong Cai(蔡勇); Dedong Han; Yi Wang; Lei Sun; Mansun Chan; Shengdong Zhang
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刊物名称: IEEE Transactions on Electron Device
年: 2012-9
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