Fabrication of cantilever with self-sharpening nano-silicon-tip for AFM applications
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作者: | Jiadong Li(李加东); Jie Xie(谢杰); Wei Xue(薛伟); Dongmin Wu(吴东岷) |
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刊物名称: | Microsystem Technologies |
年: | 2012-7 |
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