11月26日上午，纳米真空互联实验站“二期工艺分项验收会议”在苏州纳米所上善苑召开。来自苏州大学孙立宁教授、中科院大连化物所傅强研究员、中科院长春光机所刘雷研究员、中北大学丑修建教授、量子科技长三角产业创新中心栾添高级工程师的五位专家组成工艺验收专家组，对纳米真空互联实验站二期验证项目的工艺设备和工艺指标进行了现场鉴定和验收。副所长(主持工作)、党委副书记王强斌，资产与条件处处长靳琰，科技处处长张凯，纳米真空互联实验平台主任张珽，苏州工业园区科技创新委员会卢旭等出席会议。会议由实验平台副主任崔义主持。

验收专家组首先听取了二期项目《工艺验收报告》和《科研进展报告》汇报，接着审阅了《工艺验收大纲》、《工艺验收报告》等相关资料，并进行了现场考察，经过质询和讨论，认为：该项目建设全面完成了合同规定的研究内容，达到了合同要求的技术指标，同意通过工艺验收。同时建议持续加大投入，加强高端装备自主研发，注重服务国家重大工程和区域特色经济发展，发挥国家重大科技平台战略作用。

纳米真空互联实验站二期建设项目由中国科学院、江苏省、苏州市、苏州工业园区四方投资建设。目前实验站实现了近40套大型工艺设备真空互联，形成了五大功能模块：材料制备与工艺模块、微观机理模块、跨尺度光电测试模块、气氛可控模块以及真空互联管道控制模块。可满足多功能材料体系和异质结的集成开发，器件工艺制备和原位多参量本征物性表征等，覆盖时间、空间和能量高分辨表征技术。面向全球高校、研究机构和高科技企业开放，在电子信息材料、量子材料、纳米能源与催化材料、高温超导材料、有机半导体材料及新兴纳米材料等先进材料和核心器件方面建立了有国际影响的科技创新能力。已吸引220家国内外用户到实验站开展研究工作，发表文章超过250篇，已申请专利246项，纳米材料与器件的真空互联变革性技术路线已受到国际的广泛认可。

纳米真空互联实验站将进一步面向国家战略需求和科学前沿，解决低维材料表/界面科学问题和器件真空互联原位制造变革性技术等重大科学问题，力争纳入国家重大科技基础设施，为“新原理、新材料、新器件”等原创性研究提供重要建制化、体系化支撑。

        领导专家合影

        会议现场

        现场调研

         上善苑外观图

        实验大厅现场图