随着微纳制造技术的不断进步，微纳传感器在航空航天、生物医疗、食品安全等领域得到更加广泛的应用，特别是近几年来伴随着汽 车电子产品和物联网的快速发展，不同类型和功能的新型传感器的市场需求量越来越大。10月19日至20日，由中国科学院人事局主办，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所承办，上海材料与制造大型仪器区域中心和苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司协办的中国科学院精品课程——新型微纳传感器件制造与应用技术研讨会成功在苏举办。 

　　本次中国科学院精品课程吸引来自上海交通大学、重庆大学、上海复旦微电子集团股份有限公司、北京大学长三角光电科学研究院、华为技术有限公司、无锡华润微电子有限公司等全国各地共计98家企事业单位180余名专家学者参加。  

　　本次中国科学院精品课程为期两天，共计11个报告，涵盖新型微纳传感器件的加工、测试和应用。中国科学院空天信息创新研究院方震研究员、北京理工大学谢会开教授、南京大学简小华研究员、深圳市微纳制造产业促进会王大伟会长、杭州左蓝微电子技术有限公司张树民总经理、西安电子科技大学李娜教授、西安交通大学关蒙萌助理教授、北京理工大学逯遥副教授、国防科技大学李裴森副研究员、杭州电子科技大学轩伟鹏教授、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司蔡勇总经理分别讲授《无感式监测技术及其在医疗健康领域应用》《MEMS微镜技术发展现状及展望》《PMUT超声换能器及应用》《MEMS传感器的技术产业化研究报告》《5G时代的射频滤波器》《声激励磁电天线的基础理论、关键技术及工程应用》《TMR磁传感器及其在电网领域的应用》《MEMS扬声器的研究与进展》《高性能TMR磁传感器技术》《压电超声MEMS微泵及应用》和《新型传感器中试量产阶段工艺分析》。  

　　20日下午，与会人员实地参观了苏州纳米所纳米加工平台和苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 MEMSRIGHT，并进行技术交流。  

　　研讨会现场氛围热烈，与会的专家学者就新型微纳传感器件制造与应用技术相关领域问题进行了深入的探讨和交流。通过总结新型微纳传感器件制造与应用技术的发展现状、交流最新研究进展并展望发展方向，同时期望搭建优质交流平台，加强该领域科研工作者之间的交流，进一步促进合作与协同创新。

　　苏州纳米所纳米加工平台面向社会开放，服务科学研究和产品开发，平台完备的技术设备和高水平工艺服务，有力支撑了区域科研院所和企业自主创新。同时，通过开展纳米技术相关培训，搭建起纳米技术人才交流学习的平台。本届研讨会为公益培训，作为中国科学院精品课程和中国国际纳米技术产业博览会核心分会，已成功举办十届，累计培训3000余人次，树立起品牌效应，发挥区域创新高地优势，助力纳米科技应用型人才培养，推动产学研协同创新。  

        研讨会现场               专家报告

        交流研讨