近日，江苏省发展和改革委员会印发了首批省重大科技基础设施培育支持预研项目名单，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验装置（Nano-X）成功入选，标志着该实验装置在真空互联纳米科技领域的研究与发展迈出了重要一步。

Nano-X作为世界首个集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米科技真空互联综合实验装置，不仅是江苏省尖端技术创新的重要源头，也是目前世界最大的真空互联科研装置之一。Nano-X通过超高真空管道将各功能设备相互连接，有效解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题，极大地提升了纳米级器件研发和制造的效率。

目前，Nano-X经过一期、二期近十年的精心筹备和建设，已经完成了从概念验证到初步建设的重要阶段，各项设施均已实现高效稳定运行，为“新原理、新材料、新器件”等原创性研究和核心技术突破提供重要建制化、体系化支撑。预研项目阶段，旨在提升真空互联下器件原子级制造的关键工艺能力，开创真空互联原子级制造的变革性技术路线，扎实推进项目高质量建设，致力于将本设施打造成为世界领先的大科学装置。