一、项目基本情况

项目编号：202607-01

项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所台阶仪采购项目

采购方式：竞争性磋商

预算金额：96万元（人民币）

采购需求：需采购台阶仪一台。台阶仪是用于半导体微纳加工中精确测量薄膜台阶高度与晶圆应力的关键量测设备。在台阶高度测量上，它通过物理探针扫描刻蚀或沉积后的表面形貌，提供纳米级分辨率的垂直尺寸数据，为监控刻蚀速率、沉积厚度及工艺均匀性提供直接依据。同时，台阶仪还能通过多点扫描晶圆表面曲率变化，构建3D翘曲分布图，并结合Stoney公式定量计算薄膜应力及其全域分布，从而有效评估工艺应力对器件性能的影响，为工艺优化与良率提升提供重要数据支撑。

合同履行期限：自合同生效之日起至全部权利义务履行完毕之日止。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、申请人的资格要求：

1.供应商应满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。

3.本项目的特定资格要求：

（1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人。

（2）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

（3）具有履行合同所必需的设施和专业技术能力，提供具备履行合同所必需的设备、场地等照片和专业技术能力的证明材料及产品的质量证明资料。

（4）经销商可提供厂家的资料，为了保证工艺稳定，在合同有效期内必须提供同一厂家的货物。

（5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、严重违法失信行为记录名单的供应商。

（6）代理商投标必须有制造厂家投标授权（仅针对进口产品投标）

三、获取采购文件

时间：2026年7月27日至2026年8月2日，每天上午8:30至11:30，下午13:30至17:30（北京时间）。

地点：线上（电子邮件）。

方式：潜在供应商下载本公告附件《采购文件领取登记表》，按要求填写登记表加盖公章后，将扫描件及本项目要求的特定资格文件扫描件压缩为一个文件包在上述获取采购文件的规定时间内发送至邮箱llpeng2015@sinano.ac.cn，邮件主题和附件名均设置为“XX领取台阶仪项目采购文件”。经审核无误后，中国科学院苏州纳米所通过电子邮件方式将采购文件电子版发送至潜在供应商在《采购文件领取登记表》中所填报的邮箱，潜在供应商收到采购文件电子版后请进行确认并以回复邮件的方式向中国科学院苏州纳米所反馈。

潜在供应商没有领取采购文件的或没有回复确认的，该供应商不能参加本项目磋商等采购活动。

售价：￥0.0元

四、响应文件提交

截止时间：2026年8月18日下午14点30分（北京时间）

地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所B616会议室

五、开启

时间：2026年8月18日下午14点30分（北京时间）

地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所B616会议室

六、公告期限

自本公告发布之日起不少于5个工作日。

七、其他补充事宜

提交响应文件时间：2026年8月18日下午14:00-14:30（北京时间）

八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址：苏州工业园区若水路398号

联系方式：0512-62872915

2.项目联系方式

项目联系人：俞老师

电话：0512-62872525